Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
Юрий Райзер, Михаил Шнейдер, Николай Яценко (Авт.)
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разрядынизкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей ВУЗов, а также для научных работников и инженеров.
კატეგორია:
წელი:
12
გამომცემლობა:
Наука,ФИЗМАТЛИТ,МФТИ
ენა:
russian
გვერდები:
238
ISBN 10:
5741700063
ISBN 13:
9785741700068
ფაილი:
DJVU, 5.84 MB
IPFS:
,
russian, 12
Litres
გსურთ დაამატოთ წიგნის მაღაზია? დაგვიკავშირდით support@z-lib.do-ით
ფაილების კონვერტაცია
ძიების მეტი შედეგი
სხვა უპირატესობები 
